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La piattaforma ha il piano superiore costruito in acciaio e nickel. Sopra la piattaforma vengono disposti dei parallelepipedi con
base magnetica, dotati di braccio con punta finissima in tungsteno e di manopole molto sensibili per lo spostamento del braccio:
tali elementi vengono denominati sonde. Lo scopo delle sonde è quello di posizionarsi sui pad del chip o
del wafer da analizzare e, tramite un filo collegato con la punta di tungsteno, verificare il valore elettrico in tale
punto del circuito.
La piattaforma può essere spostata secondo l'asse verticale; due cilindri rotanti con scala micrometrica la collegano al basamento.
Tali cilindri sono uniti tra di loro tramite una cinghia dentata posta nella sommità inferiore del basamento. Essi permettono un
movimento verticale con una sensibilità di 0.0005 pollici (0.0127 mm).
Marco Delaurenti
1999-06-25